在實際生產中，我們發現等離子清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起等離子清洗機達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。下面，等離子清洗機廠家介紹了幾個關鍵部位保養前后的效果以及如何進行保養。

　　

　　一、真空腔體保養

　　

　　等離子腔體清潔時產生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。

　　

　　對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導入N2和O2，用等離子體清除腔體內殘余物，工作10min。

　　

　　二、電極與托板架的保養

　　

　　托板架和電極長時間使用后會附著氧化層，同時采用等離子體處理烴基材料時，一段時間后在托板架、電極，RF導電桿上會積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩定。清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。

　　

　　注意：不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔；氫氧化鈉溶液會與鋁發生劇烈的化學反應，應小心謹慎以確保僅在所需的時間內清除沉積物；反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區域應保持良好的通風。

　　

　　三、真空泵的保養

　　

　　查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，發現油位接近紅線刻度，加油到紅標線上下之間位置。

　　

　　等離子清洗機在使用過程中，腔體內出現的一些殘留物和氧化層，在前期發展階段，該薄層并不影響設備的運行或成品。但是經過持續的運轉后，發現了清洗效果不穩定，能察覺到微小改變，所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進行清洗翻新。